低温等离子体净化法低温等离子体是继固态、液态、气态以后的物质第四态,当外加电压到达气体的放电电压时,气体被击穿,发生包含电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中尽管电子温度很高,但重粒子温度很低,全部系统呈现低温状况,所以称为低...